Окончил факультет теоретической ядерной физики Московского инженерно-физического института в 1960 году и аспирантуру Института атомной энергии им И. В. Курчатова в 1963 году. В 1965 году защитил кандидатскую диссертацию «Теория сверхтонкой структуры мёссбауэровской линии», в 1971 — докторскую диссертацию «Теория динамического взаимодействия излучения с веществом».
С 1963 по 1989 год работал в Курчатовском институте атомной энергии. С 1989 года — заведующий Лабораторией физики поверхности микроэлектронных структур в Физико-технологическом институте РАН.